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电子级羟基乙叉二膦酸(HEDP)

Electronic Grade 1-Hydroxy Ethylidene-1,1-Diphosphonic Acid (HEDP)

一、机能与用处

电子级HEDP为电子级高纯产品,拥有很强的金属离子螯合能力,在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺,能够提高研磨效能和光洁度,在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用能够削减毛刺,提高铜箔表表光洁度。

二、技术指标

项  目 指  标
表 观 无色通明液体 晶体
活性(以HEDP计)/% ≥60.0 ≥90.0
单金属离子/ppb <10ppb(可凭据客户需要定造)

三、包装与贮存

电子级HEDP液体用电子级塑料桶包装,每桶25kg或200kg,可凭据客户需要定造。贮存于室内阴凉透风处,贮存期十二个月。

四、安全与防护

电子级HEDP为酸性,操作时把稳劳动防护,应预防与皮肤、眼睛等接触,接触后应立即用大量净水冲刷。

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